微小電気機械システム「MEMS」が従来の100分の1のコストで製造できるかも

デスクトップ型装置でMEMSを製造

MITの最新の研究成果は、『MEMS』の製造コストが高すぎるという問題を解決しそうだという。

研究者らは、デスクトップ型の装置で、『MEMS』ベースのガスセンサーを製造する事を可能にし、それは市販の製品並みの性能を示したという。

 

そして、特筆すべきは、そのデスクトップ型の装置の中心的構成部分自体を3Dプリンターで作れると言うことだ。

これらの研究成果は、『MEMS』を従来の100分の1のコストで生産出来る可能性を示唆しているという。

研究者らによれば、この製造法では従来の製造法で必要とされていた、高温と減圧といった条件を回避することができるという特徴でもあるという。

長い間、強い電界を受けたときに、流体の微細な流れの放出で、配列が密なエミッタを製造する技術が研究されてきた。それは、特定の流体を通過させる円筒形のエミッタだ。

エミッタアレイの一部

source:http://news.mit.edu/

 

流体には酸化グラフェンが含まれており、シリコン基板の上に特定のパターンで噴霧される。

それが素早く蒸発すると、ナノスケールの酸化グラフェンのコーティングが残るのだ。

グラフェン酸化ガスセンサの光学顕微鏡写真

source:http://news.mit.edu/

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